第六章:先进制造工艺之二
—超精密加工

 

 

  加工的数量级

size.gif (85530 字节)

精密车削

lodtm1a.gif (127249 字节)

alpha1.gif (55521 字节)

     激光用锥[1]

大直径光学车削机床

(64in直径,20in高,3000lb重,温度控制:0.005 度,表面Ra:5nm)

KII天文望远镜用(in Mauna Kea Hawaii) 

keck2b.GIF (73705 字节)

perl-2.GIF (72205 字节)    球形零件[1]

perl.GIF (105029 字节)

  精密车床[1]

ptu.gif (23371 字节)

 

 

 

镜面加工(未抛光)

capsule.jpg (26525 字节)

  洁净条件下的精密加工机床[3]    

umc01.GIF (39683 字节)

  多轴精密加工机床[4]

photob22.jpg (15948 字节)     镜面磨削[5]   otafuku2.GIF (21209 字节)  3mm直径面具

 

   研磨加工

   激光加工

电加工 EDM

  微电加工 (MEDM)

lap-parts.gif (20046 字节) laser-parts.gif (18078 字节) pm.gif (12968 字节) model-iss-1.gif (40376 字节)

 

mirror.gif (11239 字节)

afm.GIF (118130 字节)

抛光加工

磁性球抛光[6]

mit-nono-ray-08.jpg (19189 字节)

 

 

 

 

 

 

 

X-ray光刻

mit-nono-interfero-19.jpg (28897 字节)

激光光刻

5510powell.gif (37866 字节)

化学机械抛光(CMP)

 

               

crystal.jpg (4321 字节)

wafercheck7200.gif (6596 字节)

厚度分选

lapping.jpg (5621 字节)

etch.jpg (7677 字节)

microscan8300.gif (8361 字节)

厚度分选,平面度检查

 

              

01-a.gif (16271 字节)

02-a.jpg (15984 字节)03-at.gif (67646 字节)

(加工原理)

STM.jpg (38267 字节)

STM-2.jpg (44543 字节)

(加工设备)

单晶硅加工

directc.gif (4682 字节)

ond-ani.gif (101512 字节)pot-ani.gif (99797 字节)

hg17sur2.gif (6287 字节)

fig4.jpg (33350 字节)

                                               

加工方法: 光刻、电加工    。

microgear.gif (11242 字节) Bug_1f-th.jpg (5358 字节) gc3tn.jpg (2687 字节) gc8tn.jpg (1984 字节) gear2-th.jpg (2974 字节)
gear4.jpg (54832 字节)

gear5.jpg (57822 字节)

 (光刻马达)

mir1.jpg (58353 字节)

mir6.jpg (64136 字节)

 

mite1.gif (11033 字节)

(放有昆虫的旋转光刻马达)

 

Copyright 1999—2000 IMT,GDUT Prof.Dr.Wang Chengyong.

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